Система Infinity IBD обеспечивает получение плотных пленок с низким уровнем дефектов с чрезвычайно высокой точностью и однородностью. Она обеспечивает независимый контроль над энергией ионов, что позволяет достичь точных характеристик тонкой пленки с очень низким уровнем загрязнения отслаиванием.

Модуль Bias Target Sputter обеспечивает превосходный контроль над границами тонкой пленки, независимый контроль над ионными токами и энергиями, а также работает при низком давлении. Это исключает загрязнение и рассеивание пучка, предотвращает повреждение поверхности, обеспечивает жесткий контроль напряжений и создает плотные, бездефектные пленки.

Модуль BTS повышает стоимость владения за счет увеличения использования мишени, что позволяет уменьшить общий размер мишени. Конструкция системы позволяет добиться превосходной однородности на больших подложках без вращения. Модуль обеспечивает импульсное напыление и более высокую скорость осаждения по сравнению с другими платформами IBD.

Все эти уникальные особенности и преимущества подкреплены стремлением компании Denton к долгосрочному партнерству и обслуживанию. С нашими специалистами вы получите высоконадежную конфигурацию, отвечающую вашим потребностям и спецификациям, обеспечивающую высокую продолжительность работы системы и простоту обслуживания.

Микроболометры на основе оксида ванадия
Прецизионная оптика (лазеры, ИК-детекторы)
Антибликовые покрытия VCSEL
Высокоэффективные солнечные элементы
Спиновые клапаны для магнитной записи
Массивы фокальных плоскостей
Тепловидение
Фасетки лазерных полос