39xx
Системы контроля дефектов широкополосных плазменных плазменных панелей с супервысоким разрешением

Широкополосные плазменные системы контроля дефектов серии 390x поддерживают обнаружение дефектов на уровне пластин, обучение урожайности и поточный мониторинг для ≤7нм логики и передовых узлов памяти проектирования. Благодаря технологии источника света, обеспечивающей сверхвысокое разрешение в диапазоне глубоких ультрафиолетовых (SR-DUV) волн, и инновационным сенсорам, модели 3920 и 3925 обеспечивают высокочувствительную фиксацию уникальных типов дефектов. Серия 392x также использует передовые алгоритмы проектирования, pixel-point™ и nano-cell™, для фиксации дефектов в критических точках диаграммы урожайности. Благодаря пропускной способности, поддерживающей требования к поточному мониторингу, чувствительность пар 392x серии 392x со скоростью, позволяющей осуществлять обнаружение на скорости света™, сокращает время, необходимое для получения данных на уровне полупроводниковых пластин для полной характеристики технологических проблем во время разработки и крупносерийного производства.
Заявления

Обнаружение дефектов, Обнаружение горячих точек, Отладка процесса, Проверка печати EUV, Инженерный анализ, Мониторинг линии, Обнаружение окна процесса
Серия 39хх: Оптические широкополосные инспекторы дефектов плазменных пластин с полосами волн сверхвысокого разрешения в глубоком ультрафиолетовом (SR-DUV), которые дополняют инспекционные характеристики серии 29xx для обнаружения дефектов на узловых устройствах ≤ 10 нм конструкции.