Интегрированная загрузка и выгрузка пластин, выгрузка пластин из кварцевой лодки в кассету или загрузка пластин из кассеты в кварцевую лодку. Возможна установка двух пластин спина к спине в один слот, что обеспечивает одностороннюю диффузию, или установка одной пластины в слот для двухсторонней диффузии. С непрерывной загрузкой и выгрузкой пластин может гарантировать непрерывное производство или использоваться только для загрузки или выгрузки пластин.

- С импортным шестиосевым подъемником для загрузки/выгрузки и обеспечивает высокую надежность подбора и размещения пластин; -С программным обеспечением главного компьютера на базе IPC в HMI, высокоскоростное взаимодействие данных может быть реализовано через сетевую связь.
- С точными компонентами обнаружения для определения динамического положения кварцевой лодки для коррекции позиционирования.
- С системой охлаждения перед процессом разгрузки, которая может избежать любого вредного воздействия на пластины и оборудование, вызванного высокой температурой.
- Гребенка, захват принимают специальную технологию обработки, которая значительно уменьшает следы на пластинах
- Кассета может быть вертикальной или горизонтальной, клиент может выбрать гибко в соответствии с их потребностями
- Функция MES, обнаружение сопротивления листа и AGV, опционально.