Применение оборудования

Встроенное оборудование, которое может быть интегрировано с одной или двумя лодками с интерфейсом PECVD оборудования и реализовать транспортировку графитовой лодки и пластин загрузки и выгрузки автоматически. Это оборудование может быть применено в процессе до и после PECVD процесса, который может загрузить пластины из кассеты в графитовую лодку и транспортировать выполненную лодку к PECVD оборудованию или транспортировать обработанную лодку к этому оборудованию и выгрузить пластины из графитовой лодки в кассету автоматически.

Особенности
- С модульной конструкцией, которая может быть интегрирована в линию с одним или двумя комплектами оборудования PECVD.
- Управление с помощью ПК, планшетного компьютера, что является простым и понятным для работы.
- Онлайн обнаружение микротрещин, определение толщины пленки, система цветного контроля и автоматическая работа с пластинами NG (требуется дополнительная плата).
- Конфигурация Inline/offline.
- Совместимость с AGV, RFID системой, MES функция опционально.