Инновационные, полнофункциональные загрузчики пластин NWL200 компании Nikon поддерживают комплексный контроль полупроводниковых пластин диаметром 6" (150 мм) и 8" (200 мм) с помощью оптического микроскопа или видеоизмерительных систем, например, Nikon NEXIV.

Сложный, надежный загрузчик для обработки разнообразных пластин
Серия NWL - это превосходная линейка загрузчиков полупроводниковых пластин от компании Nikon, способных переносить пластины диаметром 6″ (150 мм) и 8″ (200 мм) толщиной до 100 микрон (опция) на микроскопы Nikon Eclipse L200N и LV150N или видеоизмерительную систему NEXIV VMZ-S.

Серия NWL200 - загрузчики пластин для инспекционных микроскопов ИС
Благодаря передовой запатентованной технологии компании Nikon серия NWL200 является первой линейкой загрузчиков пластин для инспекционных микроскопов, способных работать с пластинами толщиной 100 мкм, обеспечивая высокую производительность и надежность инспекции для большинства приложений в полупроводниковой промышленности.

Высокая надежность в производстве полупроводников
При неожиданном прерывании электропитания вакуумный патрон макроруки остается активным, обеспечивая безопасное извлечение пластин.

Функции макроинспекции
Поддерживается контроль передней стороны полупроводниковой пластины, задней периферии и центральной области. Скорость вращения пластины и угол наклона устанавливаются автоматически или вручную.

Разработана для максимальной производительности
Быстрый подъемник кассет с бесконтактным центрирующим механизмом позволяет быстро и точно выравнивать пластины, используя многорукую систему для загрузки и выгрузки пластин с высочайшей точностью.

Эргономичный дизайн
NWL200 имеет эргономичный дизайн для удобства управления и контроля.

Расположенный под углом 35 градусов влево, он позволяет легко устанавливать пластины в слот и производить полную замену кассеты.