Система контроля температуры химической ванны


Встроенный блок управления температурой; работает с коммутационным блоком питания или блоком питания/регулятором температуры для замены удаленного чиллера.
Низкий расход, однопроходное химическое управление температурой
Прямое охлаждение технологической жидкости в мокрых скамейках.
Для полупроводниковых химических ванн объемом 3-30 галлонов для применения в условиях, близких к амбициозным

Диапазон рабочих температур: от -10°C до 35°C
Температура окружающей среды: от -10°C до 40°C без конденсации
Стабильность / Повторяемость: - ± 0,05°C (при типичной конфигурации)
Охлаждающая мощность: - 800 Вт при 25°C и 20°C технической воды
Теплопроизводительность: - 1000 Вт при 25°C и 20°C технической воды
Технологическая жидкость: - до 50% высокочастотный раствор, органические растворители, другие жидкости, совместимые с тефлоном PFA, гальванические ванны
Вода в помещении: -
2-4 галлона в минуту (8-15 л/мин) @ 10-35°C отфильтрованный, обработанный
рециркуляционная охлаждающая вода с pH: 6,5 - 8,2
Скорость потока технологической жидкости: -
4-10 галлонов в минуту (15-38 л/мин) с параллельным потоком (4:1 фитинги)
0.5-2 галлон/мин (2-8 л/мин) с последовательным расходом (опция низкого расхода)
Максимальное давление: -
Процесс: 90 фунтов на кв. дюйм
Объект: 100 фунтов на кв. дюйм
Фитинги из тефлона: - 3/4" или 1" Flaretek, или квитанция из тефлоновой трубы
Водопроводная арматура объектов - 3/8" Женский NPT
Смоченные материалы: -
Процесс: тефлон HDPFA
Объект: Тефлоновый пропитанный анодированным алюминием
Размер (Д х Ш х В): -
17.5" x 11,25" x 4,65" (44,4 см x 28,6 см x 11,8 см) с изоляцией
16" x 9,75" x 3,15" (40,6 см x 24,8 см x 8,0 см) без изоляции
Вес: - 38 фунтов (17 кг)
Требования к электропитанию
(отдельное устройство): - переключатель 6600 установлен на 0-100 В пост. тока, 0-18,3 Ампер
Стандарты - Semi S2-0200, F47 совместимый, CE
Гарантия: - 2 года