Система автоматизации процесса для производства PECVD

Система автоматизации процесса для производства PECVD

Производитель: RoboTechnik
Артикул:2369279
RoboTechnik
*Цена по запросу
Отправить заявку

Мы принимаем заявки на поставку оборудования круглосуточно и только онлайн, через форму обратной связи или по электронной почте:

info@zipmachine.ru

Связаться с менеджером для консультации вы можете по телефону: +7 (800) 302-30-80 в будние дни с 09.00 до 18.00.

Описание
Процесс :
Применить к пластинам размером 156/230
Совместимость с трубами PECVD различного размера и пластинчатым оборудованием PECVD

Особенности :
Погрузка и разгрузка ● Кассета или стопка
Погрузка и разгрузка: Кассета или стопка
Выход: графитовая лодка
мониторинг температуры на лодках
Обнаружение разницы цвета/ толщины пленки в режиме онлайн, обнаружение ПЛ, обнаружение обломков,
Обнаружение искажённой плёнки, флип
Дополнительная поддержка интерфейса MES и функция удаленной отладки
Интеллектуальная машина, статистика OEE и функция анализа энергопотребления
Стандартное определение температуры лодки, вертикальная стреляющая лодка, керамическая присоска,
одноканальный вакуум
дополнительный интеллектуальный IGV-интерфейс
Характеристики
Спецификации для производства, процесса
Вы смотрели
Так же смотрят