ГлавнаяКаталогРОБОТИЗАЦИЯ - АВТОМАТИЗАЦИЯ - ИНФОРМАТИКААВТОМАТИКАДругие контроллеры и регуляторыМодуль контроля для полупроводниковой пластины VULCANO XYZ3TH

Модуль контроля для полупроводниковой пластины VULCANO XYZ3TH

Производитель: ETEL S.A.

Артикул:1794424

*Цена по запросу

Отправить заявку

Мы принимаем заявки на поставку оборудования круглосуточно и только онлайн, через форму обратной связи или по электронной почте:

info@zipmachine.ru

Связаться с менеджером для консультации вы можете по телефону: +7 (800) 302-30-80 в будние дни с 09.00 до 18.00.

Описание

Платформа VULCANO XYZ3TH составлена стандартное оборудованного XY VULCANO с модулем совмещенным Z3TH. Этот модуль 4 степеней свободы, обеспечивает вращение тэты 364°, двойные Z-оси, грубую одну для вафли нагружая и разгружая, и точное одно для регулировки фокуса, так же, как коррекции подсказки и наклона над ±0.1°.

Характеристики
- Компактный след ноги
- Стабильность положения нанометра
- Высокая динамика: 2,5 g, 1,5 m/s
- Низкие времена движения и скамьи
- Чистая комната ISO1 совместимая
- Коррекция Подсказк-наклона над ±0.1°
- Двойная интеграция z
- Встроенный компенсатор силы тяжести в z
- Выдающая прямота z
- Увеличенная повторимость и дрожание z
- Способность исправить плоскостность этапа
- Встроенная поставка вакуума на уровне цыпленка

Характеристики

Спецификации

для полупроводниковой пластины, 6 осей

Так же смотрят