ГлавнаяКаталогРОБОТИЗАЦИЯ - АВТОМАТИЗАЦИЯ - ИНФОРМАТИКААВТОМАТИКАДругие контроллеры и регуляторыМодуль контроля для полупроводниковой пластины VULCANO XYT

Модуль контроля для полупроводниковой пластины VULCANO XYT

Производитель: ETEL S.A.

Артикул:1794416

*Цена по запросу

Отправить заявку

Мы принимаем заявки на поставку оборудования круглосуточно и только онлайн, через форму обратной связи или по электронной почте:

info@zipmachine.ru

Связаться с менеджером для консультации вы можете по телефону: +7 (800) 302-30-80 в будние дни с 09.00 до 18.00.

Описание

Платформа VULCANO XYT состоит из стандартной платформы VULCANO XY, оснащенной поворотным модулем RTTB, который включает в себя энкодер высокого разрешения, соединенный с превосходным механическим подшипником.

Использование этой платформы подходит для, но не ограничивается этим:
- Приложения для управления процессом производства пластин, такие как метрология наложения, критические размеры и тонкопленочная метрология
- Back-end: специальные процессы с флип-чипами, выполненные на больших панелях/подложках

Характеристики
- Компактность
- Стабильность положения нанометра
- Короткие сроки переезда и урегулирования
- Высокая динамика
- Высокая двунаправленная повторяемость
- Высокая стабильность положения
- Совместимость с чистыми помещениями по классу ISO 1

Характеристики

Спецификации

3 оси, для полупроводниковой пластины

Так же смотрят