Модуль контроля для полупроводниковой пластины VULCANO XY
Производитель:
ETEL S.A.
*Цена по запросу
Мы принимаем заявки на поставку оборудования круглосуточно и только онлайн, через форму обратной связи или по электронной почте:
info@zipmachine.ru Связаться с менеджером для консультации вы можете по телефону: +7 (800) 302-30-80 в будние дни с 09.00 до 18.00.Описание
Система VULCANO XY представляет собой трехступенчатую конструкцию, позволяющую получить компактное и экономичное решение в сочетании с механическими подшипниками и высокотехнологичными оптическими энкодерами.
Основание нижней оси (Y1 и Y2) состоит из двух линейных двигателей с железным сердечником, управляемых в режиме портала, при использовании с контроллерами AccurET, что обеспечивает лучшую повторяемость и оптимальную эффективность управления. Верхняя ось (X) состоит из одного линейного двигателя с железным сердечником. Использование технологии железосодержащих сердечников обеспечивает высокую плотность усилия, что приводит к высокому ускорению и скорости, сохраняя при этом рабочую температуру на относительно низком уровне.
Опорная плита верхней оси (X), которая также удерживает двигатель нижней оси (Y1 и Y2), изготовлена из алюминия для оптимизации массы и динамики. Термическое расширение осуществляется с помощью изгибающих элементов.
Характеристики
- Компактность
- Стабильность положения нанометра
- Короткие сроки переезда и урегулирования
- Высокая динамика
- Высокая двунаправленная повторяемость
- Высокая стабильность положения
- Совместимость с чистыми помещениями по классу ISO 1
Основание нижней оси (Y1 и Y2) состоит из двух линейных двигателей с железным сердечником, управляемых в режиме портала, при использовании с контроллерами AccurET, что обеспечивает лучшую повторяемость и оптимальную эффективность управления. Верхняя ось (X) состоит из одного линейного двигателя с железным сердечником. Использование технологии железосодержащих сердечников обеспечивает высокую плотность усилия, что приводит к высокому ускорению и скорости, сохраняя при этом рабочую температуру на относительно низком уровне.
Опорная плита верхней оси (X), которая также удерживает двигатель нижней оси (Y1 и Y2), изготовлена из алюминия для оптимизации массы и динамики. Термическое расширение осуществляется с помощью изгибающих элементов.
Характеристики
- Компактность
- Стабильность положения нанометра
- Короткие сроки переезда и урегулирования
- Высокая динамика
- Высокая двунаправленная повторяемость
- Высокая стабильность положения
- Совместимость с чистыми помещениями по классу ISO 1
Характеристики
Спецификации | для полупроводниковой пластины, 2 оси |
Вы смотрели
Так же смотрят