Модуль контроля для полупроводниковой пластины VULCANO XY

Модуль контроля для полупроводниковой пластины VULCANO XY

Производитель: ETEL S.A.
Артикул:1794404
ETEL S.A.
*Цена по запросу
Отправить заявку

Мы принимаем заявки на поставку оборудования круглосуточно и только онлайн, через форму обратной связи или по электронной почте:

info@zipmachine.ru

Связаться с менеджером для консультации вы можете по телефону: +7 (800) 302-30-80 в будние дни с 09.00 до 18.00.

Описание
Система VULCANO XY представляет собой трехступенчатую конструкцию, позволяющую получить компактное и экономичное решение в сочетании с механическими подшипниками и высокотехнологичными оптическими энкодерами.

Основание нижней оси (Y1 и Y2) состоит из двух линейных двигателей с железным сердечником, управляемых в режиме портала, при использовании с контроллерами AccurET, что обеспечивает лучшую повторяемость и оптимальную эффективность управления. Верхняя ось (X) состоит из одного линейного двигателя с железным сердечником. Использование технологии железосодержащих сердечников обеспечивает высокую плотность усилия, что приводит к высокому ускорению и скорости, сохраняя при этом рабочую температуру на относительно низком уровне.

Опорная плита верхней оси (X), которая также удерживает двигатель нижней оси (Y1 и Y2), изготовлена из алюминия для оптимизации массы и динамики. Термическое расширение осуществляется с помощью изгибающих элементов.

Характеристики
- Компактность
- Стабильность положения нанометра
- Короткие сроки переезда и урегулирования
- Высокая динамика
- Высокая двунаправленная повторяемость
- Высокая стабильность положения
- Совместимость с чистыми помещениями по классу ISO 1
Характеристики
Спецификации для полупроводниковой пластины, 2 оси
Вы смотрели
Так же смотрят