Дозатор с пневматическим приводом - лучше всего подходит для процесса производства полупроводников для нанесения фоторезиста.

Особенности серии SB

Высокая точность
Дозатор серии SB точно отмеряет/дозирует химическую жидкость, такую как фоторезист. Объем на порцию очень точен для обеспечения нанесения оптимального количества фоторезиста. Использование дополнительного отсоса предотвращает капание из инжекторного сопла. В сильфоне практически нет мертвого объема, поэтому возможность застоя раствора сведена к минимуму.
Бессальниковая и сверхмедленная конструкция цилиндра позволяет дозировать фоторезист на низкой скорости с меньшей вероятностью попадания воздуха.

Нержавеющие/фтористые мокрые концы
Нержавеющие (SUS304) и фторопластовые (PTFE/PFA) мокрые концы доступны для различных жидкостей и обеспечивают хорошую коррозионную стойкость и подачу без загрязнений. Наиболее подходит для подачи фоторезиста высокого разрешения/чистоты.

Легкая и компактная конструкция
Насос может быть установлен как в вертикальном, так и в горизонтальном направлении (кроме SB-4K/-5/-6), что позволяет подобрать оптимальную конфигурацию системы, и достаточно компактен для установки в ограниченном монтажном пространстве.
Кроме того, в качестве опции доступны механическая заглушка для точной регулировки объема дозирования и датчик положения, обеспечивающий правильное движение поршня в цилиндре.