Серия STS является результатом десятилетий опыта в проектировании и производстве
печей с низким содержанием частиц. Эти надежные системы обеспечивают полное удаление остаточных растворителей,
равномерное распределение температуры, контроль давления, сухую инертную атмосферу и точное
управление скоростями нагрева и охлаждения.

Детали продукта
Характеристики:
1. - Вакуумная обработка с отличным контролем давления
2. - Рабочая температура: окружающая среда до 450°C (опционально высокотемпературная версия: окружающая среда до 550°Q
3. - Равномерность температуры: ± 5°C во время выдержки
4. - Ламинарный поток газа параллельно пластинам
5. - Циклы откачки и продувки для снижения содержания O
6. - Дополнительное программное обеспечение для управления процессом: Модуль, совместимый с SEMI E5-0308 и SEMI E30-0307
Стандартная конфигурация:
1. - Более быстрый процесс: 3.5 часов против 8+ часов
2. - Ламинарный поток уменьшает/удаляет частицы
3. - Концентрация O: менее 10ppm после 3 циклов прокачки и продувки
4. - Более полное отверждение (в 5 раз меньше газовыделения)
5.в 1,6-2 раза меньше потребление электроэнергии и N: 6. Значительно более низкие капитальные затраты, в 2-3 раза более низкий уровень CoO
Области применения:
1. - Отверждение полиимида/ПБО
2. - Запекание BCB
3. - Низкотемпературное отверждение полимеров
4. - Отжиг меди
5. - Низкотемпературное диэлектрическое отверждение

Сектора
1. - Передовая упаковка
2. - Датчик изображения КМОП
3. - Выдвижная упаковка на уровне пластины (FOWLP)
4. - Отжиг и дегазация полупроводникового фронтэнда
5. - Радиочастотные устройства