Эта печь представляет собой систему термообработки для окисления, диффузии и CVD кремниевых пластин, IGBT, полиимида и тонких пластин. Являясь нашей флагманской моделью, эта печь оснащена стокером большой емкости и отличается коротким временем цикла.
Характеристики

Большая партия, макс. 100 пластин в партии
Максимум 16 запасов FOUP
Отличный контроль температуры от низкой до средне-высокой благодаря использованию нагревателя LGO
Высокоскоростная передача пластин с помощью робота для перемещения одной/пяти пластин
Оснащен удобной для оператора высокопроизводительной системой управления

Эта вертикальная диффузионная печь для крупносерийного производства может обрабатывать максимум 100 пластин (300 мм / 12 дюймов) или 16 FOUP в партии. Для обеспечения превосходных температурных характеристик от низких до средневысоких температур используется нагреватель LGO. Помимо кремниевых пластин, печь подходит для термообработки IGBT, полиимида, тонких пластин и других материалов.