Оборудование в основном используется для легирования и формирования Pn-переходов на кремниевых пластинах в процессе производства кристаллических кремниевых солнечных элементов.

Подготовка кварцевой лодки и пластин→ Вставка пластин→ Загрузка пластин→ Выбор рецепта → Загрузка лодки→ Вакуумирование трубки→ Повышение температуры→ Ввод кислорода→ Ввод BBr3/BCL3→ Ввод Push in→ Обработка DOA→ Разгрузка лодки→ Охлаждение→ Тестирование→ Выгрузка пластин

- Высокотемпературная диффузия бора.

- BBr3、BCL3.

- Запатентованная технология.

- Уникальная двухслойно-вложенная структура топочной дверцы.

- Запатентованная технология системы очистки выхлопных газов.

- Высокоскоростной встроенный механизм толкания лодки модуля.

- Интеллектуальное автоматическое управление.

- Программное обеспечение MES с независимым правом интеллектуальной собственности.

- Комплексные функции защиты от аварийной сигнализации, такие как предотвращение перегрева, поломки термопары и столкновения с лодкой.

- Совместимость с решением S.C smart factory.