Гравировальная машина плазменная ECR M-600/6000 series
Производитель:
Hitachi High-Tech Europe GmbH
*Цена по запросу
Мы принимаем заявки на поставку оборудования круглосуточно и только онлайн, через форму обратной связи или по электронной почте:
info@zipmachine.ru Связаться с менеджером для консультации вы можете по телефону: +7 (800) 302-30-80 в будние дни с 09.00 до 18.00.Описание
Система травления проводников серии M-600/6000 предназначена для глубокого травления кремниевых траншей силовых устройств, используемых в мобильных системах, бытовых электроприборах, автомобилях, поездах и т.д.
Технология низкотемпературного травления и технология смещения TM (временная модуляция) вместе с источником плазмы высокой плотности ECR (электронный циклотронный резонанс) обеспечивают чистый процесс, превосходные профили траншей без боковых остатков и отличную производительность.
Применимый диаметр пластин: 150 мм, 200 мм
Конфигурация системы: 2 травления + 2 золирования (макс.)
Технология низкотемпературного травления и технология смещения TM (временная модуляция) вместе с источником плазмы высокой плотности ECR (электронный циклотронный резонанс) обеспечивают чистый процесс, превосходные профили траншей без боковых остатков и отличную производительность.
Применимый диаметр пластин: 150 мм, 200 мм
Конфигурация системы: 2 травления + 2 золирования (макс.)
Характеристики
Способ | плазменное ECR |
Применение | для кремния |
Вы смотрели
Так же смотрят