Гравировальная машина плазменная ECR M-600/6000 series

Гравировальная машина плазменная ECR M-600/6000 series

Производитель: Hitachi High-Tech Europe GmbH
Артикул:1053073
Hitachi High-Tech Europe GmbH
*Цена по запросу
Отправить заявку

Мы принимаем заявки на поставку оборудования круглосуточно и только онлайн, через форму обратной связи или по электронной почте:

info@zipmachine.ru

Связаться с менеджером для консультации вы можете по телефону: +7 (800) 302-30-80 в будние дни с 09.00 до 18.00.

Описание
Система травления проводников серии M-600/6000 предназначена для глубокого травления кремниевых траншей силовых устройств, используемых в мобильных системах, бытовых электроприборах, автомобилях, поездах и т.д.
Технология низкотемпературного травления и технология смещения TM (временная модуляция) вместе с источником плазмы высокой плотности ECR (электронный циклотронный резонанс) обеспечивают чистый процесс, превосходные профили траншей без боковых остатков и отличную производительность.

Применимый диаметр пластин: 150 мм, 200 мм
Конфигурация системы: 2 травления + 2 золирования (макс.)
Характеристики
Способ плазменное ECR
Применение для кремния
Вы смотрели
Так же смотрят