Оборудование для горизонтальной диффузии/окисления/отжига

Оборудование в основном используется для легирования и формирования PN-переходов на кремниевых пластинах в процессе производства кристаллических кремниевых солнечных элементов.

Подготовка кварцевой лодки и пластин→ Вставка пластин→ Загрузка пластин→ Выбор рецепта→ Загрузка лодки→ Вакуумирование трубки→ Повышение температуры→ Ввод кислорода→ Ввод Pocl3→ Проталкивание→ Обработка ДОА→ Разгрузка лодки→ Охлаждение→ Тестирование→ Выгрузка пластин.

- Диффузия, окисление и отжиг под низким давлением.

- Технологическое решение с высоким сопротивлением листа.

- Запатентованная технология, доступная для диффузии бора.

- Уникальная структура дверцы печи с двухслойной вставкой.

- Запатентованная технология для системы очистки выхлопных газов.

- Высокоскоростной встроенный механизм толкания лодки модуля.

- Высокоточная технология стабилизации давления источника воздуха.

- Интеллектуальное автоматическое управление.

- Программное обеспечение MES с независимым правом интеллектуальной собственности.

- Сигнализация защиты от перегрева, обрыва термопары и столкновения с лодкой.

- Интеллектуальное заводское решение Match S.C.