Приложение

Вакуумная система нанесения покрытий G4000MR представляет собой устройство для нанесения покрытий в промышленных масштабах, предназначенное для получения однородных отражающих и защитных покрытий на крупногабаритных оптических изделиях, включая астрономические первичные зеркала

Инжиниринг и технология

Конфигурация установки для нанесения покрытия и особенности процесса осаждения разработаны специально для обработки изделий диаметром до 4 метров с небольшими магнетронами с программным управлением, перемещающимися по расчетной траектории с регулируемой скоростью. Скорость перемещения магнетронов и скорость вращения зеркала согласованы для достижения исключительно равномерной толщины покрытия. Зеркало располагается лицевой стороной вниз и поворачивается несколько раз в течение цикла.

G4000MR предназначен для нанесения отражающих покрытий на алюминий, серебро и другие металлы. Слой оксида кремния поверх отражающего покрытия обеспечивает износостойкие защитные свойства штабеля покрытий. Перед нанесением покрытия зеркальная поверхность обрабатывается плазмой с подвижным ионным источником для обеспечения хорошей адгезии. Покрытие осаждается с помощью процессов распыления металла и реактивного магнетронного напыления. Круглые магнетроны питаются от импульсно-постоянных источников питания. Для контроля скорости осаждения растущей тонкой пленки используются устройства на основе кварцево-кристаллических резонаторов.

Вакуум, необходимый для нанесения покрытий, обеспечивается крио-насосами холодильников и турбонасосом, подключенными к воздуходувке Рутса и насосам сухого сжатия.

Система управления обеспечивает полностью автоматизированный процесс.

Процесс нанесения покрытия и нанесения покрытий может быть индивидуализирован в соответствии с требованиями соответствующего заказчика.


Информационный лист
Субстрат: крупногабаритные астрономические стеклокерамические зеркала
Диаметр подложки: до 4 м
Количество подложек: 1 шт.