Машины этой серии представляют собой специальные машины для очистки после CMP вафель. Они имеют различные структуры, такие как одностанционный тип, индексный тип и поточный тип, могут быть использованы в различных приложениях, поточный тип машины оснащен полностью автоматической системой загрузки и выгрузки. Машины этой серии оснащены функциями промывки, двухсторонней чистки, мегазвуковой очистки, сушки N2, высокоскоростной спин-сушки, высокой интеграции, малой площади основания, влажной и сухой обработки, подходят для очистки всех видов пластин после CMP.

Комплексные функции
Машины этой серии оснащены функциями ополаскивания, двухсторонней очистки, мегазвуковой очистки, N2 сушки, высокоскоростной отжимной сушки.

Простое управление
Система PLC, сенсорное управление, автоматическая чистка и мойка одной кнопкой, машина поточного типа оснащена полностью автоматической системой загрузки и выгрузки, "кассета в кассету" более удобна.

Хорошая совместимость
Совместимость с пластинами от 4 до 12 дюймов путем замены приспособления

Малое пространство для ног
Минимизация пространства для ног в чистой комнате