В основном используется для создания высококачественных антибликовых покрытий при производстве кристаллических кремниевых солнечных элементов, а также для осаждения пассивирующей пленки на задней стороне солнечных элементов.

Графитовая лодка и пластины готовы→ Впуск азота→ Загрузка графитовой лодки→ Вакуумирование, испытание давлением → Предварительная очистка и проверка аммиака→ Вакуумирование трубки, проверка герметичности, постоянная температура→ Нанесение предварительного покрытия → Нанесение покрытия→ Вакуумирование, испытание давлением→ Очистка трубки и впуск азота→ Выгрузка графитовой лодки.

- Совместим с процессом SiOxNy PERC.

- Технология двойного уплотнения фланцев охлаждающей воды.

- Запатентованная технология внутреннего нагрева.

- Высокоскоростной встроенный механизм толкания лодки модуля.

- Бесконтактная графитовая лодочка с кварцевой трубкой.

- Программное обеспечение MES с независимым правом интеллектуальной собственности.

- Независимо разработанная система ССС

- Технология быстрого нанесения покрытий.

- Сигнальная защита при перегреве, поломке термопары и столкновении с лодкой.