Voyager PIB-CVD - это система химического осаждения из паровой фазы с помощью плазменно-ионного пучка (PIB-CVD), построенная на основе безфиламентного источника ионов Endeavor RF. Этот запатентованный источник ионов, благодаря своей конструкции, имеет независимый контроль как плотности ионного тока, так и энергии ионов в широком диапазоне, что позволяет получать многослойные покрытия с высокой скоростью осаждения. Он способен осаждать покрытия с высокой скоростью и высоким качеством при низкой температуре (ниже 100°C), что делает его совместимым с типичными пластиковыми подложками, такими как поликарбонат (PC) и полиметилметакрилат (PMMA).

Система Voyager PIB-CVD была разработана с акцентом на алмазоподобный нанокомпозит (DLN), чтобы обеспечить лучшую в своем классе гибкость для нанесения покрытий на плоские (например, кремниевые пластины) и трехмерные детали (например, оптические линзы). Система сконфигурирована с системой управления Process Pro компании Denton, позволяющей осуществлять автоматизированное и ручное управление процессом.

Кроме того, имеется дополнительная запатентованная конфигурация камеры, позволяющая проводить совместное распыление во время осаждения пленок DLN (Me-DLN). Эта конфигурация является уникальной в отрасли и открывает потенциал для разработки новых пленок DLN с регулируемыми механическими, электрическими и трибологическими свойствами.

Платформа Voyager PIB-CVD позволяет получать алмазоподобные нанокомпозитные (DLN) пленки для:

Гибкие и устойчивые к царапинам дисплеи
Износостойкие покрытия для медицинских и коммерческих изделий
ИК-прозрачные защитные пленки
Гидрофобные покрытия