ЛАБОРАТОРНАЯ ПЛАЗМЕННАЯ УСТАНОВКА LOW-COST ZEPTO рабочим объемом 2,6 литра с ручной, компьютерной или PCCE-системой управления применяется преимущественно в следующих областях:
Мелкосерийное производство, Аналитика (REM, TEM), Медицинская техника, Стерилизация, Отделы исследований и разработок, Археология, Текстильные технологии, Технология пластмасс

Базовое оснащение

Размеры корпусов варьируются в зависимости от компонентов/опций
Объем камеры: 1,7 - 2,6 литра (в зависимости от версии)
Электропитание: 230 В

Подача газа

Игольчатые клапаны
Mass-Flow-Controller (MFCs)

Вакуумные камеры

Боросиликатное стекло (UHP), круглая камера с крышкой (прибл. ∅ 105 мм, длина 200 мм или 300 мм)
W6 (прибл. ∅ 160 мм, длина 180 мм)

Загрузка

Носители материала: алюминиевый лист, стальной лист, боросиликатное стекло

Электроды

Одно- или многоярусные
Одна пара электродов за пределами вакуумной камеры

Системы управления

Ручная
PCCE (Microsoft Windows CE)
Поворотный переключатель

Измерение давления

Датчик Пирани

Таймер

Цифровой
Аналоговый

Генераторы

Частоты:

40 кГц: мощность 0 - 100 Вт
13,56 МГц: мощность 0 - 200 Вт

Опции

Комплекты запчастей, измеритель давления, исполнение для коррозионных газов, газовые баллоны, редукторы давления, клетка Фарадея, аксессуары для плазменной полимеризации, тестовые чернила, генератор кислорода, медленная подача воздуха, медленная откачка, техническое/сервисное обслуживание, документация на языке страны эксплуатации, монтаж и обучение на месте эксплуатации. Другие опци