Эта вертикальная печь со встроенным стокером обрабатывает 8-дюймовые пластины при сверхвысоких температурах большими партиями. Эта печь представляет собой систему термообработки полупроводников, которая может выполнять окисление, диффузию, LPCVD, активационный отжиг и различные другие виды термообработки.
Характеристики

Крупная партия, максимум 150 пластин для пакетной обработки
Максимум 20 запасов кассет
Отличный контроль температуры от низкой до средневысокой с помощью нагревателя LGO
Высокоскоростная передача пластин с помощью робота для перемещения одной/пяти пластин
Оснащен удобной для оператора высокопроизводительной системой управления

Данная модель представляет собой непрерывную крупносерийную вертикальную диффузионную печь массового производства, оснащенную накопителем для максимального количества 150 пластин (8-дюймовых) или 20 кассет. Благодаря нагревателю LGO, эта печь демонстрирует превосходные температурные характеристики в диапазоне от низких до сверхвысоких температур. Эта печь может использоваться для широкого спектра обработки от низкотемпературного отжига, нитридов (Si3N4), поликремния (poly Si) и других материалов LPCVD до окисления и диффузии. Нагреватель с дисилицидом молибдена (MoSi2) также может использоваться для оксинитрирования затворов силовых устройств SiC и других видов сверхвысокотемпературной обработки.