NX-Wafer - единственный АСМ для производства пластин с автоматическим просмотром дефектов. Он представляет собой полностью автоматизированное решение АСМ для визуализации и анализа дефектов, которое повышает производительность анализа дефектов до 1000%

Уникальные особенности:

Атомно-силовой профилометр с низким уровнем шума для точных и высокопроизводительных измерений профиля CMP
Субангстремная шероховатость поверхности измеряется с предельной точностью и минимальным отклонением от наконечника к наконечнику

Программное обеспечение Smart ADR
С помощью Smart ADR NX-Wafer компании Park обеспечивает полностью автоматизированный просмотр и идентификацию дефектов, позволяя в ходе критически важного процесса классифицировать типы дефектов и определить их происхождение с помощью 3D-изображения высокого разрешения.

Разработанный специально для полупроводниковой промышленности, Smart ADR является самым передовым решением для анализа дефектов, обеспечивающим автоматическое позиционирование цели без необходимости трудоемких контрольных меток, которые часто повреждают образец. Процесс Smart ADR повышает производительность на 1000% по сравнению с традиционными методами контроля дефектов. Кроме того, новая возможность ADR обеспечивает до 20 раз больший срок службы наконечника благодаря революционной технологии АСМ Park True Non-Contact™ Mode.

Подробнее: https://www.parksystems.com/index.php/products/industrial-afm/park-wafer/overview