Современные производственные процессы отличаются высокой степенью чистоты, особенно в полупроводниковой промышленности и других отраслях промышленности, где для обеспечения качества продукции и соответствующего выхода требуются технологические газы чрезвычайно высокой чистоты. По мере усложнения этих процессов они становятся все более уязвимыми к сбоям. Это может произойти из-за истечения срока службы компонентов потока, перегаза компонентов и случайной перегрузки очистителя. Обнаружение загрязнений перед их распространением в трубопроводной сети приобретает решающее значение. Решение представляет собой серию газовых хроматографов ta7000. Мониторы чистоты газа ta7000 предназначены для применения в условиях высокой чистоты. Серия имеет специальную систему обработки проб, единый высокочувствительный детектор и встроенную электронику для анализа данных