Вводя прекурсор в плазму после разряда, ULCoat наносит тонкие слои на обрабатываемую поверхность.

ULCoat - это система, которая испаряет и впрыскивает прекурсор под плазменное сопло. ULCoat используется в сочетании с генератором OMEGA ULS.

Стандартная установка была разработана для осаждения SiOx с использованием металлоорганического прекурсора. Однако по запросу могут быть разработаны другие рецепты.

Лаборатория разработки процессов AcXys Technologies к вашим услугам для разработки приложения, отвечающего вашим потребностям, в рамках контракта на исследования и разработки.
Технология ULCoat

- Соединяется с модулем ULS OMEGA
- Используется для осаждения тонких слоев
- Регулируемая толщина от 50 до 1000 нанометров
- Равномерная толщина с отклонениями +/- 2%
- Скорость обработки до 200 нм.см2 / с
- Стандартная версия оптимизирована для осаждения SiOx

Инжекционное сопло

Поток прекурсора контролируется перед его инжекцией в плазму. Этот модуль сочетает в себе следующие элементы:

- резервуар для прекурсора
- Контроль потока прекурсоров
- Контроль потока газа
- Нагревательный компонент (опция)

Интуитивно понятный цифровой интерфейс сенсорный экран

- Встроенный сенсорный экран (выносной, если требуется OEM)
- Интуитивное управление
- Многоязычный интерфейс
- Обнаружение ошибок и устранение неисправностей
- Отображение инструкций в реальном времени

Совместимый газ

- Воздух
- Азот
- Другие газовые смеси