УСТАНОВКА ФОРМИРОВАНИЯ КАССЕТЫ КРИСТАЛЛОВ DME-220

Работа с пластинами диаметром до 200 мм
Равномерная растяжка пленочного носителя во всех направлениях
Нагрев рабочего стола
Простота использования и технического обслуживания

Установка DME-220 предназначена для создания равномерных промежутков между кристаллами разрезанной полупроводниковой пластины путем равномерной растяжки пленочного носителя во всех направлениях. Внедрение данной операции позволяет получить следующие преимущества:

Повышение эффективности отмывки пластин/подложек после дисковой резки
Упрощение процесса снятия кристаллов/элементов с пленочного носителя
Отсутствие сколов на краях кристаллов, образующихся при их съеме с пленочного носителя, т.к. соседние кристаллы не соприкасаются друг с другом



Растяжение пленки на установке DME-220 производится следующим образом: внутреннее кольцо пялец устанавливается на подогреваемый столик, внешнее кольцо пялец устанавливается в крышку, разрезанная пластина, закрепленная на рамке с пленочным носителем, устанавливается между столиком и крышкой. По команде оператора столик начинает подниматься вверх, растягивая пленку и смыкая внутреннее и внешнее кольца пялец. Таким образом, растянутая пленка с кристаллами оказывается зафиксированной в пяльцах.

Установка производит нагрев пленки для повышения ее эластичности при растяжении. К другим настраиваемым параметрам процесса относятся длина хода столика, влияющая на величину растяжения пленки, а также скорость хода.


Технические характеристики: -
Диаметр обрабатываемых пластин, не более, мм -
200

Ход рабочего стола, мм -
25-75

Температура нагрева рабочего стола, не более, оС -
65

Напряжение питания, В -
220