Система наблюдения для измерения температуры Process Probe™ 1530/1535

Система наблюдения для измерения температуры Process Probe™ 1530/1535

Производитель: KLA - TENCOR
Артикул:2029040
KLA - TENCOR
*Цена по запросу
Отправить заявку

Мы принимаем заявки на поставку оборудования круглосуточно и только онлайн, через форму обратной связи или по электронной почте:

info@zipmachine.ru

Связаться с менеджером для консультации вы можете по телефону: +7 (800) 302-30-80 в будние дни с 09.00 до 18.00.

Описание
Система мониторинга температуры пластин Situ Wafer Temperature Monitoring System

Приборные пластины Process Probe™ 1530 и 1535 используются для мониторинга температуры на месте для широкого спектра процессов, включая холодные стенки, RTP, распыление, CVD, плазменные стрипперы и эпитаксиальные реакторы. Технологические зонды 1530 и 1535 обеспечивают прямое измерение температуры пластин в реальном времени на каждом критическом этапе технологического цикла. С помощью этих полных данных о температуре, инженеры-технологи могут охарактеризовать и точно настроить условия процесса, приводя в движение улучшенную производительность технологического оборудования, качество пластин и выход.
Заявления

Разработка процессов, Квалификация процессов, Квалификация технологических инструментов, Согласование технологических инструментов

Холоднокамерные тонкопленочные технологические камеры (1530), горячекамерные тонкопленочные технологические камеры (1535) | 0-1100°C
Характеристики
Другие характеристики в режиме реального времени
Тип для измерения температуры
Применение для измерений
Вы смотрели
Так же смотрят