Система наблюдения для измерения температуры Process Probe™ 1530/1535
Производитель:
KLA - TENCOR
*Цена по запросу
Мы принимаем заявки на поставку оборудования круглосуточно и только онлайн, через форму обратной связи или по электронной почте:
info@zipmachine.ru Связаться с менеджером для консультации вы можете по телефону: +7 (800) 302-30-80 в будние дни с 09.00 до 18.00.Описание
Система мониторинга температуры пластин Situ Wafer Temperature Monitoring System
Приборные пластины Process Probe™ 1530 и 1535 используются для мониторинга температуры на месте для широкого спектра процессов, включая холодные стенки, RTP, распыление, CVD, плазменные стрипперы и эпитаксиальные реакторы. Технологические зонды 1530 и 1535 обеспечивают прямое измерение температуры пластин в реальном времени на каждом критическом этапе технологического цикла. С помощью этих полных данных о температуре, инженеры-технологи могут охарактеризовать и точно настроить условия процесса, приводя в движение улучшенную производительность технологического оборудования, качество пластин и выход.
Заявления
Разработка процессов, Квалификация процессов, Квалификация технологических инструментов, Согласование технологических инструментов
Холоднокамерные тонкопленочные технологические камеры (1530), горячекамерные тонкопленочные технологические камеры (1535) | 0-1100°C
Приборные пластины Process Probe™ 1530 и 1535 используются для мониторинга температуры на месте для широкого спектра процессов, включая холодные стенки, RTP, распыление, CVD, плазменные стрипперы и эпитаксиальные реакторы. Технологические зонды 1530 и 1535 обеспечивают прямое измерение температуры пластин в реальном времени на каждом критическом этапе технологического цикла. С помощью этих полных данных о температуре, инженеры-технологи могут охарактеризовать и точно настроить условия процесса, приводя в движение улучшенную производительность технологического оборудования, качество пластин и выход.
Заявления
Разработка процессов, Квалификация процессов, Квалификация технологических инструментов, Согласование технологических инструментов
Холоднокамерные тонкопленочные технологические камеры (1530), горячекамерные тонкопленочные технологические камеры (1535) | 0-1100°C
Характеристики
Другие характеристики | в режиме реального времени |
Тип | для измерения температуры |
Применение | для измерений |
Вы смотрели

Артикул:
2170107
Все товары этого бренда
Joiwo Explosion Proof Science and Technology
*Цена по запросу
Так же смотрят