Оптический инспекционный инструмент FRT MicroProf DI позволяет контролировать структурированные и неструктурированные пластины в течение всего производственного процесса. Объединяя 2D контроль и метрологию, MicroProf DI обеспечивает измерительные решения для различных приложений, включая контроль дефектов и метрологию на уровне пластины для микровыпуклостей, RDL, накладок и сквозных кремниевых отверстий (TSV) в одном измерительном инструменте.

MicroProf DI включает несколько модулей, которые можно гибко комбинировать на одной платформе, охватывая все поверхности пластин с высокой производительностью для эффективного управления процессом. Модули включают в себя оптический контроль и классификацию дефектов с помощью модуля камеры с однократным и пошаговым снимком, просмотр дефектов с помощью высокоточного микроскопа и комплексную мультисенсорную метрологию с различными датчиками топографии и толщины слоя. Для оптического, бесконтактного и неразрушающего анализа скрытых структур и включений в пластине также доступны интерферометрические датчики толщины слоя с источником инфракрасного света и ИК-микроскопом.