Благодаря уникальной технологии оптического дизайна система Imperia обнаруживает и классифицирует дефекты, снижающие урожайность, с дополнительным преимуществом одновременного современного фотолюминесцентного (ФЛ) мониторинга производства

Обзор продукции
Благодаря уникальной технологии оптического дизайна система Imperia обнаруживает и классифицирует дефекты, снижающие урожайность, а также обеспечивает одновременный фотолюминесцентный (ФЛ) мониторинг производства. Объединение этих двух функций постэпитаксиального метрологического скрининга в единую высокопроизводительную систему позволяет свести к минимуму использование ценного пространства на заводе и время обработки кассет. Этот продукт может обеспечить значительную экономию для пользователя (например, точное прогнозирование производительности реактора MOCVD и графиков ПМ)

- Спектральное PL картирование высокой плотности
- Анализ и классификация дефектов
- Изображение толщины эпитаксиального слоя и нормализованной отражательной способности с высоким разрешением
- Профилирование формы подложки и 3D реконструкция носовой части