Система контроля поверхности пластин серии LS может обнаруживать дефекты на нешаблонных пластинах с зеркально обработанной поверхностью. Применяемая технология лазерного рассеяния позволяет достичь высокой чувствительности и высокой пропускной способности обнаружения небольших загрязнений и различных типов дефектов на поверхности пластин перед нанесением рисунка. Дефекты поверхности подложек, такие как дефекты плоскостности в виде мелких царапин, водяные знаки, дефекты эпиукладки, выступы в процессе полировки и дефекты плоскостности, вызванные осаждением, создают проблемы в процессах нового поколения. Датчики серии LS достигают высокой чувствительности за счет обнаружения света, рассеянного от дефектов, при подавлении фонового шума от поверхности пластины. Они широко применяются для контроля загрязнений при производстве полупроводников в масштабе 10 нм, а также для контроля качества поставляемых и входящих пластин.

Оптика
- Новая оптика обеспечивает высокую чувствительность контроля

Стадия вафель
- Высокоскоростной этап обеспечивает высокую пропускную способность инспекции

Области применения
- Для производителя устройств: входной контроль и мониторинг технологического оборудования
- Для производителя инструментов и материалов: оценка процесса и материала
- Для поставщика пластин: выходной контроль с обработкой края пластины

Обнаружение дефектов
- Высокая точность обнаружения дискриминации

Размер вафли
- φ300 мм