Серия инспекторов Firefly представляет собой решение для автоматизированного контроля для высокопроизводительных приложений, таких как FPGA, ЦП/ГПУ и сетевые серверы, в дополнение к приложениям с низким количеством входов/выходов: Водитель IC, радиочастотные приемопередатчики, беспроводная связь и MEMS.

Обзор продукции

Платформа, конфигурируемая для пластинчатых (круглых) или панельных (прямоугольных) подложек, предлагает несколько режимов визуализации, включая запатентованную Onto Innovation технологию Clearfind®, метод, позволяющий в большом технологическом окне обнаруживать дефекты остатков на металле и дефекты металла на органических слоях. Сочетание гибкости подложки, чувствительности к дефектам и метрологии в одной платформе снижает требования к капитальным вложениям и обеспечивает надежный путь перехода от пластинчатых к панельным процессам для приложений, требующих большого количества входов/выходов и многокристальной интеграции, например, SoC с памятью, беспроводным модулем и широкой памятью ввода/вывода.

Интеграция с программным обеспечением Onto Innovation's Discover Defect быстро превращает данные о дефектах в управляемый процесс, улучшает классификацию и сокращает время ручного просмотра. Это позволяет нашим клиентам надежно разрабатывать, изучать и анализировать новые процессы, значительно сокращая при этом время доставки продукции на рынок.

Заявления

Упаковка на уровне вентилируемых пластин (FOWLP) / Упаковка на уровне панелей вентилируемых пластин (FOPLP)
2.5D/проекторы
Встраиваемый матриц / встраиваемый композитор
3DIC
МЭМС
Датчики изображения (CIS)
Внешний макрос для узлов расширенных интегральных схем