Метрологические системы наложения

Метрологическая система наложения на основе скатерометрии ATL100™ (Accurate Tunable Laser) обеспечивает контроль наложения для разработки и крупносерийного производства при ≤7нм узлах конструкции. Настраиваемая лазерная технология с разрешением 1 нм в паре с Homing™ в реальном времени поддерживает высокую точность наложения при наличии вариаций производственного процесса. ATL100 поддерживает широкий спектр целевых конструкций для измерения наложений с помощью скатерометрии, в том числе в формате инди и с малым шагом, что позволяет точно измерять погрешность наложения для различных технологических слоев, типов устройств, узлов конструкции и технологий нанесения рисунка.
Заявления

Управление наложением продукта, мониторинг в режиме реального времени, квалификация сканера, контроль за узором, измерение в режиме реального времени
Похожие продукты

Archer (Арчер): метрологические системы наложения на основе изображений, обеспечивающие высокоточные измерения наложения для разработки и крупносерийного производства на узлах ≤1Xnm.