Многоточечная NanoGauge система измерения толщины пленки C11295 представляет собой систему измерения толщины пленки с использованием спектральной интерферометрии. Она предназначена для измерения толщины пленки в процессе производства полупроводников, а также для контроля качества APC и пленок, установленных на оборудовании для производства полупроводников. Позволяет проводить многоканальные измерения в реальном времени, что обеспечивает одновременное многоканальное измерение и многоточечные измерения на пленочных поверхностях. Одновременно может измерять отражательную способность (пропускаемость), цвет объекта и их изменение с течением времени.

Особенности
- Одновременное измерение толщины пленки до 15 точек
- Бесконтактная работа
- Стабильное долговременное измерение путем коррекции колебаний интенсивности света
- Функция сигнализации и предупреждения (прошел/не прошел)
- Измерения отражения (пропускания) и спектра
- Высокая скорость и высокая точность
- Измерение в реальном времени
- Точное измерение колеблющейся пленки
- Анализировать оптические константы (n, k)
- Внешний контроль доступен

Спецификации
Номер типа: C11295-XX*1
Диапазон измеряемой толщины пленки (стекло): от 20 нм до 100 мкм*2
Воспроизводимость измерения (стекло) : 0,02 нм*3 *4
Точность измерения (стекло) : ±0,4 %*4 *5
Источник света: Ксеноновый источник света *6
Длина волны измерения: от 320 нм до 1000 нм
Размер пятна : Приблизительно φ1 мм*4
Рабочее расстояние: 10 мм*4
Количество измеряемых слоев : макс. 10 слоев
Анализ : БПФ-анализ, анализ подгонки
Время измерения: 19 мс/точка*7
Форма разъема волоконного кабеля : SMA
Количество точек измерения: от 2 до 15
Внешняя функция управления : Ethernet
Интерфейс: USB 2.0 (Главный блок - компьютер)
RS-232C (Источник света - компьютер)
Источник питания : AC100 В до AC240 В, 50 Гц/60 Гц