Криогенные чиллеры Edwards Polycold® MaxCool – это криогенные холодильные системы с замкнутым контуром, которые эффективно захватывают водяной пар, из которого на 65–95 % состоит газовая нагрузка в системах с высоким вакуумом.

Эти криогенные чиллеры можно использовать для улавливания водяного пара и других конденсируемых веществ путем их замораживания на холодной поверхности, например, на криозмеевике или перегородке. Криогенные чиллеры MaxCool также используются для охлаждения и нагрева объектов, таких как электростатические держатели, используемые при обработке полупроводниковых пластин. Различные модели в нашей линейке обеспечивают мощность охлаждения 2000, 2500 или 4000 Вт.

Откачка водяного пара
Водяной пар, как правило, является наиболее реактивным загрязняющим веществом, присутствующим в высоковакуумных системах. С нашими криогенными чиллерами MaxCool вы можете ожидать увеличения производительности существующей системы на 20–100% и повышения качества напыления.