Park NX20 - это АСМ платформа для всех исследовательских лабораторий, работающих с образцами размером до 200 мм. От академических приложений до полупроводников и анализа отказов, NX20 предлагает уникальные возможности, такие как точные и воспроизводимые измерения с развязанной системой сканирования XY, измерения шероховатости поверхности с малошумящим Z-детектором, режим True Non-Contact™, обеспечивающий остроту наконечника для точности измерения шероховатости поверхности, широкий диапазон режимов сканирования с высоким разрешением и модульную конструкцию. NX20 широко используется в полупроводниковой промышленности и производстве жестких дисков благодаря точности данных и воспроизводимости измерений, что повышает производительность и аналитическую эффективность.


300-мм версия - Park NX20 300mm поддерживает полный моторизованный диапазон перемещения 300 мм x 300 мм и может эффективно инспектировать всю 300-мм пластину без необходимости громоздкого перемещения образца.

Основные технические характеристики:
2D сканер с гибким управлением и диапазоном сканирования 100 мкм x 100 мкм * Высокоскоростной Z сканер с диапазоном сканирования 15 мкм * Малошумный датчик положения XYZ * Моторизованный XY образцовый этап с дополнительными датчиками * Автоматизация пошагового сканирования * Доступный держатель образцов * Слот расширения для расширенных режимов и опций SPM * Прямая осевая мощная оптика со встроенной светодиодной подсветкой * Автоматическое включение с помощью скользящей соединяемой SLD головки * Вертикально выровненные моторизованные Z этап и этап фокусировки * Высокоскоростная 24-битная цифровая электроника