Усовершенствованный зонд Ленгмюра для диагностики плазмы

Регулярный мониторинг I-V характеристики плазмы с помощью зонда Hiden ESPion дает прямую информацию о стабильности и воспроизводимости плазмы. Автоматическая экстраполяция параметров плазмы в реальном времени дает подробную информацию о свойствах плазмы для использования при определении характеристик и контроле однородности.

Определение характеристик плазмы
Потенциал плазмы
Плавающий потенциал
Температура электронов
Ионная плотность
Распределение энергии электронов
Поток ионов

Система ESPion использует Orbital Motion Limited (OML) и Allen Boyd Reynolds (ABR) в качестве стандартных моделей анализа плазмы.

Автоматический Z-привод Hiden обеспечивает пространственно разрешенные измерения во всем объеме плазмы. Стандартными вариантами перевода Z-привода являются: 300, 600 и 900 мм.

Скорость сбора данных 15 сканов в секунду с интерфейсом D-O-E для автоматического, полу- или ручного анализа
Hiden является пионером в области пассивной радиочастотной компенсации
ESPion имеет самый высокий блокирующий импеданс среди всех имеющихся в продаже приборов
4.25 МОм на частоте 13,56 МГц по сравнению со 100 кОм
Многоиндукторная цепь с газовым охлаждением для работы с высокотемпературной плазмой
Многоиндукторная цепь с газовым охлаждением может быть заменена пользователем для настройки на другие частоты
Эталонный зонд компенсирует низкочастотные эффекты
например, сдвиг потенциала плазмы (например, анодированные стенки камеры) или шум (например, источник питания)
ESPion обладает самыми быстрыми характеристиками импульсной плазмы среди всех коммерческих зондов
ESPionSoft содержит все необходимые схемы стробирования в стандартной комплектации
Варианты с автоматическим линейным приводом 300, 600 или 915 мм
Доступны варианты с блокированным запорным клапаном, зондами 90°, комбинированными линейно-поворотными приводами
Цикл самоочистки для ограничения загрязнения наконечника зонда