Наша стандартная система нанопроб с 4 или 8 манипуляторами с замкнутым контуром.

SMARPROBE SP4 - это система зондирования с 4 манипуляторами, а SMARPROBE SP8 - с 8 манипуляторами. Каждый из манипуляторов имеет 3 степени свободы и оснащен оптическими энкодерами с нанометровым разрешением для высокоточного электрического зондирования. Интеллектуальные процедуры позиционирования, реализованные в специальном управляющем программном обеспечении, и возможность загрузки до четырех шлейфов образцов SEM повышают удобство работы и общую производительность при выполнении любых задач нанозондирования. Прочная механическая конструкция обеспечивает высочайшую стабильность и простоту эксплуатации. Зондирующие системы совместимы с широким спектром FIB, SEM и оптических микроскопов и, таким образом, идеально подходят для модернизации существующих зондовых установок и для интеграции в новые приборы. Системы контактных измерений SMARPROBE позволяют применять методы определения электрических характеристик от 2-контактных EBIC/EBAC до 4- и 6-точечных контактных измерений, что делает SMARPROBE незаменимым инструментом для лаборатории анализа отказов.

Манипулятор с креплением зонда - XYZ с замкнутым контуром
Количество манипуляторов - ≤ 4 / ≤ 8
Стадия образца - XYZ с замкнутым контуром
Управление - Point & Click, джойстик
Зондирующая область [мм] - 25 x 25
Диапазон сканирования в XYZ1 [мкм] - 3
Тепловой дрейф2 [нм/мин] - 1 - 10