AnalysisStation JED-2300T - это интеграционная система TEM/EDS, основанная на концепции "Изображение и анализ". Управление данными осуществляется путем автоматического сбора параметров, таких как увеличение и ускоряющее напряжение, вместе с данными анализа.

Доступны три типа кремниевых дрейфовых детекторов (SDD) EDS, с площадью обнаружения 30 мм2, 60 мм2 и 100 мм2 соответственно. Чем больше площадь обнаружения, тем выше чувствительность детектора. Благодаря установке детектора Dry SD100GV (площадь обнаружения 100 мм2) в JEM-ARM200F (HRP), одновременно реализуется большая площадь приема света и высокое разрешение, и возможно четкое различение световых элементов, таких как "B,C,N,O".

- Высокоскоростное элементное картирование

Сухой детектор SD100GV, обладающий высокой чувствительностью, обнаруживает частицу катализатора Au всего за одну минуту времени измерения.

- Картирование с атомным разрешением

Атомные столбцы Sr и Ti четко разделены.

- Воспроизведение

Данные элементного картирования, полученные с помощью EDS JEOL, сохраняют спектр на каждом пикселе для каждого кадра вместе с изображениями электронного луча. Функция "воспроизведения" позволяет проводить многосторонний анализ, включая наблюдение за изменением спектра в течение определенного периода времени. Явление, происходящее в образце, которое невозможно было отследить, теперь можно наблюдать, воспроизводя данные анализа. Также возможно вырезать выбранные кадры. (Подана заявка на патент)

Заявка JED-2300T
- Структурный анализ полупроводниковых приборов с помощью STEM/EDS-томографии