Максимальное разрешение XPS изображения: 500 нм / 100 нм (Lab / Synchroton)
Простая навигация по образцам с помощью технологии PEEM
Маленькая точечная спектроскопия
Исправленный аберрационный энергетический фильтр с поправкой на аберрацию
Высокомощный монохроматический рентгеновский источник высокой мощности
ARUPS с максимальным угловым восприятием
Создано в сотрудничестве с компанией FOCUS GmbH

NanoESCA предлагает карты химического состояния с непревзойденным боковым разрешением XPS (<500 нм, полученным в лабораторных условиях). Прибор позволяет анализировать наименьший размер структуры образца, предоставляя информацию о химическом состоянии, выходящую за рамки других методов с высоким боковым разрешением, таких как сканирование Оже и TOF SIMS
Навигация образца в реальном времени обеспечивается с помощью метода PEEM, который работает в режиме вторичных электронов. Режим PEEM позволяет легко находить мелкие детали на большой площади образца и обеспечивает высокое разрешение (разрешение < 50 нм). Кроме того, режим PEEM предоставляет количественную информацию о местной функции работы и местных сборах проб.

Возможности спектроскопии NanoESCA могут быть дополнены опцией ARUPS, которая позволяет анализировать k-пространство из m-зоны, например, мелкие зерна в поликристаллической поверхности с предельным угловым восприятием.
За революционный дизайн компания NanoESCA получила награду R&D 100 за 2007 год.