Высокопроизводительная наноразмерная ИК-спектроскопия и визуализация для полупроводниковых приложений

НаноИК-система Dimension IconIR300™ с большим количеством образцов обеспечивает высокоскоростную и высокоточную наноразмерную характеризацию для полупроводниковых приложений, обладая непревзойденными возможностями, размером образца и гибкостью в отношении типа материала. Благодаря сочетанию запатентованной фототермической ИК-спектроскопии и наноразмерных возможностей АСМ по картированию свойств, IconIR300 позволяет проводить автоматизированный контроль пластин и выявлять дефекты на широчайшем диапазоне образцов пластин и фотомасок. Система значительно расширяет возможности применения технологии АСМ-ИК в сегментах полупроводниковой промышленности, недоступных для традиционных методов.

Построенная на основе революционной архитектуры системы Dimension IconIR с большим количеством образцов, IconIR300 обеспечивает корреляционную микроскопию и химическую визуализацию, а также повышенное разрешение и чувствительность.

Только система Dimension IconIR300 обеспечивает:
- Неразрушающее измерение всей пластины 200 мм и 300 мм;
- однозначную идентификацию органических и неорганических нанозагрязнений на полупроводниковых пластинах и фотомасках с прямой корреляцией данных с библиотеками FTIR;
- Неразрушающее измерение высоты ступеней и картирование наноразмерных свойств материалов; и
- Автоматизированные измерения на основе рецептов и поддержка файлов KLARF для удобного доступа к всеобъемлющим данным.