Воздушный анализатор Process Sense™
Производитель:
MKS Instruments
*Цена по запросу
Мы принимаем заявки на поставку оборудования круглосуточно и только онлайн, через форму обратной связи или по электронной почте:
info@zipmachine.ru Связаться с менеджером для консультации вы можете по телефону: +7 (800) 302-30-80 в будние дни с 09.00 до 18.00.Описание
Отростчатое Sense™ соответствующе для определять завершение чистки камеры плазмы, в полупроводнике и камерах низложения. Анализатор давления уменьшает размывание камеры, должное к overcleaning. В результате, обслуживание жизни камеры продленно.
Прибор конструирован от ультракрасной абсорбциы, которая эффективна для всех деятельностей чистки плазмы. Он предложен в полных наборах подъема, для инструментов CVD AMAT.
Его можно использовать в различных применениях включая окиси кремния, нитриды кремния, polysilicon и в силане или процессах TEOS.
Прибор конструирован от ультракрасной абсорбциы, которая эффективна для всех деятельностей чистки плазмы. Он предложен в полных наборах подъема, для инструментов CVD AMAT.
Его можно использовать в различных применениях включая окиси кремния, нитриды кремния, polysilicon и в силане или процессах TEOS.
Характеристики
Измеряемая величина | элементный |
Конфигурация | встраиваемый |
Объект измерения | воздушный |
Технология | недиспергирующий инфракрасный |
Вы смотрели
Так же смотрят