Воздушный анализатор Process Sense™

Воздушный анализатор Process Sense™

Производитель: MKS Instruments
Артикул:741999
MKS Instruments
*Цена по запросу
Отправить заявку

Мы принимаем заявки на поставку оборудования круглосуточно и только онлайн, через форму обратной связи или по электронной почте:

info@zipmachine.ru

Связаться с менеджером для консультации вы можете по телефону: +7 (800) 302-30-80 в будние дни с 09.00 до 18.00.

Описание
Отростчатое Sense™ соответствующе для определять завершение чистки камеры плазмы, в полупроводнике и камерах низложения. Анализатор давления уменьшает размывание камеры, должное к overcleaning. В результате, обслуживание жизни камеры продленно.

Прибор конструирован от ультракрасной абсорбциы, которая эффективна для всех деятельностей чистки плазмы. Он предложен в полных наборах подъема, для инструментов CVD AMAT.

Его можно использовать в различных применениях включая окиси кремния, нитриды кремния, polysilicon и в силане или процессах TEOS.
Характеристики
Измеряемая величина элементный
Конфигурация встраиваемый
Объект измерения воздушный
Технология недиспергирующий инфракрасный
Вы смотрели
Так же смотрят