Вакуумные УФ / EUV и В вакуумных камерах системы

Камеры EUV и VUV обеспечивают высокое разрешение, широкий динамический диапазон, а также хорошее временное разрешение.

Камеры EUV и VUV обеспечивают высокое разрешение (обычно до 10 мкм), большой динамический диапазон (12-16 бит), а также хорошее временное разрешение (до микросекундного диапазона), необходимое для современных источников импульсного плазменного разряда EUV.

Камера может получать один снимок или синхронизировать несколько снимков со скоростью до 13 кадров в секунду при полном разрешении из собственного источника EUV без ущерба для артефактов, вызванных кровотечением.
Фланцевые и/или вакуумные версии доступны в зависимости от требуемой гибкости для маскирования / резистора / источника / оптической характеристики и контроля.

Чувствительность может быть увеличена с 13,5 нм до 0,0135 нм, если камера используется для определения нескольких характерных линий. Глубокое охлаждение обеспечивает очень низкий темный ток до менее чем 0,005 электрон/пиксель/сек для длительной экспозиции, если очень слабый сигнал требует длительных периодов интеграции.