Серия датчиков OPTI-Sense основана на технологии Non-Dispersive Infrared (NDIR). Они предназначены для точного
измеряют поглощение в инфракрасном спектре специальных газов, обычно встречающихся в полупроводниковых приложениях. Они
Очень компактный и сконструированный без движущихся частей, что делает OPTI-Sense прочным и идеальным устройством для непрерывного мониторинга газовых процессов в полупроводниках на месте.

Встроенная диагностика включена во встроенное программное обеспечение. Все датчики OPTI-Sense имеют аналоговую и цифровую конфигурацию
интерфейсы, что позволяет легко интегрировать их в любой процесс.

Особенности
- NDIR Недисперсионный инфракрасный
- Идеально подходит для любых поглощающих инфракрасное излучение газов (SiF4, SiF3, CO, CO2, CF4, SF6, NF3, WF6 и других видов)
- Быстрое время отклика
- Высокая чувствительность
- Специфические виды
- Никаких расходных материалов
- Нет движущихся частей
- Программное обеспечение GUI LabView (опционально)