Расширение совместимости с химическими веществами и содействие повышению выхода продукции в производстве полупроводников

Компания HORIBA Advanced Techno, Co., Ltd. разработала и начала продажи HD-960LR, нового монитора растворенного кислорода для производителей полупроводников и оборудования для производства полупроводников, 1 июля 2021 года.
Недавняя миниатюризация и повышение производительности полупроводников приводит к разнообразию химических веществ, используемых в процессе производства полупроводников, каждое из которых требует надлежащего управления. Этот новый монитор растворенного кислорода непрерывно и с высокой точностью контролирует содержание растворенного кислорода в химических веществах, используемых в процессе производства полупроводников. Добавление нового внутреннего механизма датчика позволяет подавить деградацию электролита и даже расширить совместимость с аммиачной водой и специфическими органическими растворителями. Более того, применение этого нового механизма позволило реализовать лучший в отрасли цикл замены датчиков, составляющий примерно один год. HD-960LR увеличивает срок службы датчика примерно в 1,3 раза для сверхчистой воды и в 70 раз для аммиачной воды по сравнению с нашими традиционными продуктами. Увеличение интервала между заменами датчиков способствует повышению эффективности работы.
HORIBA Group продолжит отвечать на широкие потребности клиентов, чтобы способствовать повышению уровня выхода продукции в производстве полупроводников.

Даже загрязнения нанометрового уровня в процессе производства полупроводников способны вызвать сбои в работе полупроводников.