Больший из двух TRIPOD совместим с модульной системой CLS-92.

Наклонная стойка является основным компонентом этой системы позиционирования. Расположение трех турелей обеспечивает движение верхней пластины по крену и тангажу в диапазоне ±13° для Θx, ±15° для Θy и линейное перемещение в направлении Z на 10 мм. Верхняя пластина также включает паз для установки вращающегося столика SR-4011, чтобы добавить четвертую степень свободы к установке. Нижняя пластина, напротив, позволяет установить ее непосредственно на макетную плату или XY-платформу, состоящую из двух линейных трансляторов CLS-92 DeepL. Последняя возможность позволяет создать 5D или вместе с SR-4011 6D систему позиционирования.

Механический
Ход [мм] - 63 (X); 63 (Y); 10 (Z)
Перемещение [ - 26 (Θx); 28 (Θy); неограниченное (Θz)
Макс. Нормальная сила [Н] - 5
Макс. Горизонтальное усилие [Н] - 2,5
Размеры [мм] - 142 x 142 x 94
Высота платформы над землей [мм] - 94
Вес [г] - ~ 1850

Замкнутый контур
Типы датчиков - S
Наименьший инкремент [нм] - 1
Наименьший инкремент [мкрад] - 1
Повторяемость замкнутого контура, полный ход MCS2 [нм] - < ± 200
Повторяемость замкнутого контура, перемещение на 1 мм MCS2 [нм] - < ± 10
Повторяемость замкнутого контура, полный ход MCS2 [мкрад] - < ± 15

Опции
Опции вакуума - HV (1E-6 мбар)