Z3TM расширяет портфолио модулей, обслуживающих платформы движения. Этот модуль добавляет четыре независимые степени свободы, а именно вдоль одной поворотной, одной вертикальной и двух косых осей. По своей конструкции этот дополнительный модуль позволяет полностью реализовать профили движения полупроводниковых пластин для современных полупроводниковых применений, предоставляя OEM-производителям готовое решение "под ключ" для любой полупроводниковой технологии. Компактность продукта устанавливает рекордную плотность по количеству функций на объем, а его производительность устанавливает новые рыночные стандарты точности и динамики уровня пластин.

Z3TM позволяет OEM-производителям перейти от дорогостоящих и устаревших пьезоэлектрических решений, устраняя их проблемы гистерезиса и поддерживая разрешение нанометрового уровня, точность и воспроизводимость при еще более высокой динамике. Благодаря встроенной поддержке правильного выравнивания образца, модуль позволяет в дальнейшем контролировать плоскостность пластин, по отношению к головкам оборудования, с помощью дополнительных осей "наконечник" и "наклон". Такая уникальная функциональность позволяет пользователям, имеющим следующий уровень управления процессом, например, планарность, номинальный угол заражения (AOI), прямолинейность фокальной плоскости и многое другое, - все это дает беспрецедентную возможность получить производительность на уровне пластин по OEM-технологии. Сегодня компании не только упрощают проектирование для более высокой точности, но и значительно снижают сложность, надежность, интеграцию и общую стоимость оборудования, что позволяет намного быстрее выводить продукцию на рынок при улучшенном соотношении цена/производительность.