Это LinearMotorSystem подгонянное KML было конструировано для максимальных сложных задач выбора и места, с которыми движения необходимы в 3 axles. Главным образом требования клиента были:

компактные размеры
высокая динамика для того чтобы достигнуть времен краткосрочного цикла
высокие система и повторимость внутри ряд нанометра
упорно к high-temperature системы над некоторым интервалом времени
провес исполнения Z-axis необходимо предотвратить в случае отказа напряжения тока
версия чистой комнаты соответствующая
исполнение обеспечения функции и качества поставщиком
Разрешение

Для того чтобы встретить требования принципиальной схемы продукта каталогизируют конструкцию были аранжируют следующим образом:

специальные геометрические размеры
структура оптимизированным FEM (методом небесконечных элементов) ым и
польза в частности покрынных композиционных материалов
польза материалов and/or покрытий чистой комнаты соответствующих
системы temperature-compensated длины измеряя
моторы высокой эффективности линейные с малым тепловыделением
магнитный массовый баланс в Z-axis
IKO пути точности ультра линейные с завалкой тавота чистой комнаты
удерживание части работы обжатым воздухом и эвакуированной системой