Высокая динамика с большой апертурой
- Параллельная кинематика для ускорения времени отклика и повышения точности по нескольким осям
- Высокоточная система направляющих изгиба с нулевым люфтом
- Выдающийся срок службы благодаря пьезоприводам PICMA®
- Чистая апертура 66 мм × 66 мм
- Высочайшая линейность благодаря емкостным датчикам

- Метрология
- Интерферометрия
- Фотоника / интегральная оптика
- Литография
- Нанопозиционирование
- Сканирующая микроскопия
- Выравнивание образцов
- Микрообработка

Субнанометровое разрешение с емкостными датчиками
Емкостные датчики измеряют с субнанометровым разрешением без контакта. Они гарантируют превосходную линейность перемещения, долговременную стабильность и полосу пропускания в диапазоне кГц.

Автоматическая конфигурация и быстрая замена компонентов
Механизмы и контроллеры можно комбинировать по мере необходимости и быстро заменять. Все параметры сервопривода и линеаризации хранятся в ID-чипе разъема D-sub механики. Функция автокалибровки цифровых контроллеров использует эти данные при каждом включении контроллера.

Выдающийся срок службы благодаря пьезоактуаторам PICMA®
Запатентованные пьезоприводы PICMA® имеют цельнокерамическую изоляцию. Это защищает их от влаги и разрушения в результате увеличения тока утечки. Срок службы приводов PICMA® в десять раз больше, чем у обычных приводов с полимерной изоляцией. доказано 100 миллиардов циклов без единого отказа.