Компания Phi Drive разработала ряд нанометрических пьезоэлементов позиционирования для промышленных, исследовательских и метрологических областей рынка, где необходимы небольшие и очень малые перемещения.

Достичь нанометрического или субнанометрического смещения не так просто, и эти системы часто очень чувствительны к внешним шумам. Ступени из ассортимента продукции COR-PS были задуманы таким образом, чтобы быть устойчивыми к источникам шума благодаря этому:

Гибридная компоновка с высокой инерционностью в стали и эргологией, дающая устойчивость к механическим колебаниям;
Электроника, специально разработанная для минимизации шума и повышения устойчивости к внешним помехам
Все каскады COR-PS основаны на пьезоэлектрическом приводе и механизмах изгиба, усиливающих смещение.

Нанометрическое разрешение: 15 до 0.18 нм
110 мкм до 160 мкм Диапазон перемещения
Очень высокая максимальная нагрузка: 5 кг
Ошибка линейности: 0.027% до 0.0022%
Динамический диапазон: 0-100 Гц до 0-700 Гц
Опция высокого вакуума