Оптимальная виброизоляция для машин с высокими динамическими силами, выполняющих чувствительные измерения и проверки, литографического оборудования, лазерных машин, электронных микроскопов высокого разрешения и оборудования для полупроводниковой промышленности.
AIS™ используется, когда эффективность изоляции и время оседания обычных пневматических пружин с электропневматическими выравнивающими системами недостаточны.
- Активная электропневматическая виброизоляция, обеспечивающая контроль в шести степенях свободы.
- Оптимальная виброизоляция без усиления при резонансе.
- Отличная точность измерения уровня как в вертикальной, так и в горизонтальной плоскости.
- Минимальное время прогиба и оседания после ускорения или замедления движущейся массы внутри машины, сокращение времени отстаивания равно увеличению пропускной способности машины.
- Очень эффективный контроль в реальном времени.
- PLC, CAN-Bus, один контроллер и один высокоскоростной электропневматический сервоклапан для каждой степени свободы.
- Каждый контроллер состоит из микропроцессора и встроенных датчиков положения, давления воздуха и ускорения с высоким разрешением.
- Простое в использовании, интеллектуальное программное обеспечение WinSNI для настройки и оптимизации AIS™ и диагностики системы.
- Два различных режима работы могут быть выбраны просто с помощью цифровых входов/выходов. Например, режим сканирования (во время чувствительных операций машины) в режим загрузки (во время перемещения массы внутри машины).
- Подача сигнала вперед от контроллера машины не требуется.
- Отсутствие возмутительного тепловыделения, магнитных колебаний или высокого потребления электроэнергии, как у электромагнитных приводов / линейных двигателей.
Номер модели: Активная система изоляции AIS